據(jù)中科院重慶綠色智能技術(shù)研究院相關(guān)項(xiàng)目負(fù)責(zé)人介紹，光刻機(jī)是液晶面板制造設(shè)備中投資份額最大的關(guān)鍵設(shè)備。 它的關(guān)鍵技術(shù)一直受到外國(guó)公司的控制，限制了該行業(yè)的發(fā)展。 為了打破國(guó)外光刻設(shè)備在LCD面板行業(yè)的壟斷地位，討論了電子信息領(lǐng)域的先進(jìn)技術(shù) 三昆科技LED固化設(shè)備制造商UVLED光源新曝光
    根據(jù)中國(guó)科學(xué)院的數(shù)據(jù)據(jù)重慶綠色智能技術(shù)研究院相關(guān)項(xiàng)目負(fù)責(zé)人介紹，光刻機(jī)是液晶面板制造設(shè)備中投資份額最大的關(guān)鍵設(shè)備。 其關(guān)鍵技術(shù)一直受到外國(guó)公司的限制，制約了該行業(yè)的發(fā)展。 為了打破國(guó)外在液晶面板行業(yè)中光刻設(shè)備的壟斷，響應(yīng)電子信息領(lǐng)域?qū)ο冗M(jìn)技術(shù)，節(jié)能環(huán)保的低成本曝光設(shè)備的需求，中國(guó)科學(xué)院重慶研究所 美國(guó)科學(xué)院基于UVLED光源，突破LED/LD光學(xué)擴(kuò)展量解決方案和束角變換理論，LED多自由曲面精密配光技術(shù)，紫外波段自由曲面無(wú)機(jī)光學(xué)元件批量生產(chǎn)，對(duì)新型曝光模塊進(jìn)行了研究。 技術(shù)，光電機(jī)電系統(tǒng)集成等多項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)，成功開(kāi)發(fā)了微電子光刻的“兩個(gè)”?十二英寸UVLED平行光曝光模塊”和“ 5KW，8KW，tenKW汞燈替換UVLED光源模組”系列PCB產(chǎn)品， 液晶面板，觸摸屏等光刻設(shè)備的產(chǎn)品強(qiáng)度，均勻性等多項(xiàng)關(guān)鍵指標(biāo)均優(yōu)于國(guó)外原廠配置，并可以 實(shí)現(xiàn)了兩條um生產(chǎn)線的生產(chǎn)。 產(chǎn)品技術(shù)已達(dá)到國(guó)際領(lǐng)先水平。 目前，研發(fā)團(tuán)隊(duì)已與重慶方正，深南電路等大型企業(yè)達(dá)成合作協(xié)議，與企業(yè)合作完成光刻設(shè)備的升級(jí)改造。 市場(chǎng)上此類光刻設(shè)備5萬(wàn)余臺(tái)，產(chǎn)值將超過(guò)50億元。

 據(jù)報(bào)道，我國(guó)已加入《水a(chǎn)m公約》，并禁止在2021年之前進(jìn)出口和生產(chǎn)含汞商品。該項(xiàng)目“開(kāi)發(fā)和應(yīng)用低成本光刻工藝和液晶面板設(shè)備 “開(kāi)發(fā)UVLED光源模組為大勢(shì)所趨，以高效，節(jié)能，環(huán)保UVLED陣列為曝光光源，通過(guò)自由曲面的精確配光和復(fù)眼均勻配光方案，大 區(qū)域高強(qiáng)度均勻曝光，對(duì)現(xiàn)有的光刻機(jī)汞光源進(jìn)行了升級(jí)改造。 僅從電費(fèi)上計(jì)算，每UVLED設(shè)備每年就可為公司節(jié)省約8萬(wàn)元的使用成本。 如果將目前市場(chǎng)上的5萬(wàn)盞汞燈雕刻設(shè)備全部升級(jí)，每年可節(jié)省電費(fèi)40億元。 以上產(chǎn)品已申報(bào)15項(xiàng)專利，其中2項(xiàng)已獲發(fā)明專利授權(quán)。 為應(yīng)對(duì)當(dāng)前的機(jī)遇和挑戰(zhàn)，在“重慶液晶面板行業(yè)共同關(guān)鍵技術(shù)創(chuàng)新主題專項(xiàng)”的大力支持下，重慶研究院與重慶光電股份有限公司，重慶郵電大學(xué)合作 計(jì)劃將UVLED光源系統(tǒng)引入LCD平板光刻設(shè)備中，以“增強(qiáng)LCD面板相關(guān)公司的盈利能力和競(jìng)爭(zhēng)力，促進(jìn)重慶LCD面板產(chǎn)業(yè)的長(zhǎng)遠(yuǎn)發(fā)展”為目標(biāo) 專注于開(kāi)發(fā)用于LCD面板制造的低成本光刻工藝和設(shè)備。

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